本实用新型公开了一种环保型退火炉结构，包括退火炉本体，退火炉本体底端的两侧均固定连接有固定支腿，固定支腿底端的一侧固定连接有安装套壳，安装套壳的内部安装有电动气缸，退火炉本体背面的两侧均固定连接有第一升降导板，每个第一升降导板的一侧均开设有第一升降滑槽，每个第一升降滑槽的内部均滑动连接有升降滑板。本实用新型使用时，若待加热产品所需加热时长较长，为使加热通槽内部燃料燃烧较为彻底，可通过电动气缸推动助燃风机上移，从而可通过驱动横杆推动封闭挡板上移，使得助燃风机的出风端与助燃通槽位移正对，从而可通过助

  1.一种环保型退火炉结构，包括退火炉本体(1)，其特征是：所述退火炉本体(1)底端

  的两侧均固定连接有固定支腿(2)，所述固定支腿(2)底端的一侧固定连接有安装套壳(3)，

  所述安装套壳(3)的内部安装有电动气缸(4)，所述退火炉本体(1)背面的两侧均固定连接

  有第一升降导板(5)，每个所述第一升降导板(5)的一侧均开设有第一升降滑槽(6)，每个所

  述第一升降滑槽(6)的内部均滑动连接有升降滑板(7)，两个所述升降滑板(7)之间固定连

  接有助燃风机(8)，所述助燃风机(8)的顶端固定连接有驱动横杆(12)，所述退火炉本体(1)

  背面的顶部开设有助燃通槽(9)，所述退火炉本体(1)正面的中心处开设有加热通槽，所述

  助燃通槽(9)与加热通槽固定连通，所述助燃通槽(9)的内部穿插连接有封闭挡板(10)，所

  述封闭挡板(10)的一侧通过驱动横杆(12)与助燃风机(8)的顶端固定连接，所述退火炉本

  体(1)顶端的一侧开设有连接滑槽(11)，所述封闭挡板(10)与连接滑槽(11)穿插连接。

  2.根据权利要求1所述的一种环保型退火炉结构，其特征是：所述退火炉本体(1)正

  3.根据权利要求2所述的一种环保型退火炉结构，其特征是：每个所述第二升降导板

  4.根据权利要求3所述的一种环保型退火炉结构，其特征是：两个所述第二升降滑槽

  (14)的内壁之间滑动连接有阻隔挡板(15)，所述阻隔挡板(15)与加热通槽位置正对。

  5.根据权利要求4所述的一种环保型退火炉结构，其特征是：两个所述第二升降导板

  6.根据权利要求5所述的一种环保型退火炉结构，其特征是：所述安装圆环(16)的中

  心处安装有电动伸缩杆(17)，所述电动伸缩杆(17)底端的输出端与阻隔挡板(15)固定连

  [0001]本实用新型涉及热处理设备技术领域，特别涉及一种环保型退火炉结构。

  [0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影

  响其电性能，热处理是针对不一样的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换

  成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注

  入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

  [0003]公开号为CN219010158U的专利，公开了一种退火炉。该实用新型退火炉本体的开

  口处采用两个转动连接的炉门，且每个炉门连接两组锁定机构，通过锁定机构可保持炉门

  封闭开口的状态，成型后的玻璃板即可通过两个炉门之间的出料口出料，当出料口堵塞时，

  可通过四组锁定机构控制两个炉门分别相对退火炉本体转动以开启开口，可及时且便捷的

  将堵塞的物料排出，避免对生产效率的影响，且可避开对设备的损耗，退火炉使用较久时

  需通过助燃风机提高内部燃烧效率，而退火炉使用较短时无需使用助燃风机，而上述专利

  [0004]本实用新型的目的是提供一种环保型退火炉结构，以解决上述背景技术中提出

  [0005]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种环保型退火炉结构，包括退

  火炉本体，所述退火炉本体底端的两侧均固定连接有固定支腿，所述固定支腿底端的一侧

  固定连接有安装套壳，所述安装套壳的内部安装有电动气缸，所述退火炉本体背面的两侧

  均固定连接有第一升降导板，每个所述第一升降导板的一侧均开设有第一升降滑槽，每个

  所述第一升降滑槽的内部均滑动连接有升降滑板，两个所述升降滑板之间固定连接有助燃

  风机，所述助燃风机的顶端固定连接有驱动横杆，所述退火炉本体背面的顶部开设有助燃

  通槽，所述退火炉本体正面的中心处开设有加热通槽，所述助燃通槽与加热通槽固定连通，

  所述助燃通槽的内部穿插连接有封闭挡板，所述封闭挡板的一侧通过驱动横杆与助燃风机

  的顶端固定连接，所述退火炉本体顶端的一侧开设有连接滑槽，所述封闭挡板与连接滑槽

  [0008]优选的，两个所述第二升降滑槽的内壁之间滑动连接有阻隔挡板，所述阻隔挡板

  [0010]优选的，所述安装圆环的中心处安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底端的输出

  [0012](1)本装置可在加热通槽内部置入待加热的产品，随后可通过电动伸缩杆推动阻

  隔挡板，使得阻隔挡板在第二升降滑槽的限位下下移，从而可对加热通槽进行封闭，若待加

  热产品所需加热时长较短可直接通过退火炉本体完成加热，无需启动助燃风机节省能源。

  [0013](2)本装置使用时，若待加热产品所需加热时长较长，为使加热通槽内部燃料燃烧

  较为彻底，可通过电动气缸推动助燃风机上移，从而可通过驱动横杆推动封闭挡板上移，使

  得助燃风机的出风端与助燃通槽位移正对，从而可通过助燃风机辅助加热通槽内部燃料燃

  [0017]图中：1、退火炉本体；2、固定支腿；3、安装套壳；4、电动气缸；5、第一升降导板；6、

  第一升降滑槽；7、升降滑板；8、助燃风机；9、助燃通槽；10、封闭挡板；11、连接滑槽；12、驱动

  横杆；13、第二升降导板；14、第二升降滑槽；15、阻隔挡板；16、安装圆环；17、电动伸缩杆。

  [0018]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行

  清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的

  实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没做出创造性劳动前提下

  [0019]本实用新型提供了如图1‑3所示的一种环保型退火炉结构，包括退火炉本体1，退

  火炉本体1底端的两侧均固定连接有固定支腿2，固定支腿2底端的一侧固定连接有安装套

  壳3，安装套壳3的内部安装有电动气缸4，退火炉本体1背面的两侧均固定连接有第一升降

  导板5，每个第一升降导板5的一侧均开设有第一升降滑槽6，每个第一升降滑槽6的内部均

  滑动连接有升降滑板7，两个升降滑板7之间固定连接有助燃风机8，助燃风机8的顶端固定

  连接有驱动横杆12，退火炉本体1背面的顶部开设有助燃通槽9，退火炉本体1正面的中心处

  开设有加热通槽，助燃通槽9与加热通槽固定连通，助燃通槽9的内部穿插连接有封闭挡板

  10，封闭挡板10的一侧通过驱动横杆12与助燃风机8的顶端固定连接，退火炉本体1顶端的

  一侧开设有连接滑槽11，封闭挡板10与连接滑槽11穿插连接，若待加热产品所需加热时长

  较短可直接通过退火炉本体1完成加热，无需启动助燃风机8节省能源，若待加热产品所需

  加热时长较长，为使加热通槽内部燃料燃烧较为彻底，可通过电动气缸4推动助燃风机8上

  移，从而可通过驱动横杆12推动封闭挡板10上移，使得助燃风机8的出风端与助燃通槽9位

  移正对，从而可通过助燃风机8辅助加热通槽内部燃料燃烧，便于使得退火炉内部燃烧更为

  [0020]如图1‑2所示的一种环保型退火炉结构，退火炉本体1正面的两侧均固定设有第二

  升降导板13，每个第二升降导板13的一侧均开设有第二升降滑槽14，两个第二升降滑槽14

  [0021]如图1‑3所示的一种环保型退火炉结构，两个第二升降导板13的顶端之间固定连

  接有安装圆环16，安装圆环16的中心处安装有电动伸缩杆17，电动伸缩杆17底端的输出端

  [0022]本实用新型工作原理：本装置安装于合适位置后，可将用电器与外接电源电性连

  接，随后可在加热通槽内部置入待加热的产品，随后可通过电动伸缩杆17推动阻隔挡板15，

  使得阻隔挡板15在第二升降滑槽14的限位下下移，从而可对加热通槽进行封闭，若待加热

  产品所需加热时长较短可直接通过退火炉本体1完成加热，无需启动助燃风机8节省能源，

  若待加热产品所需加热时长较长，为使加热通槽内部燃料燃烧较为彻底，可通过电动气缸4

  推动助燃风机8上移，从而可通过驱动横杆12推动封闭挡板10上移，使得助燃风机8的出风

  端与助燃通槽9位移正对，从而可通过助燃风机8辅助加热通槽内部燃料燃烧，便于使得退

  [0023]本说明书里面未作详细描述的内容属于本领域专业方面技术人员公知的现存技术。本文

  中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的

  技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但

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